AL110-L8 Specification

Wafer Size                         : 8 inch (200 mm)

Cassette                            : 25–26 slots (standard: 26-slot cassette)

System Type                       : Programmable Wafer Handler (Auto Loader)

Alignment Method               : Non-contact optical alignment (centering & notch detection)

Inspection Type                   : Micro / Macro inspection (Frontside & Backside)

Backside Macro Inspection     : Rotation capability 90°–160°

Compatible Equipment          : MX51 / MX61 / MX80 microscope systems

Cleanroom Compatibility        : Class 10

Construction                       : Stainless steel body